そうさがたトンネルけんびきょう

そうさがたトンネルけんびきょう

物体表面を原子スケールで調べる装置。 極細な金属探針の先端を表面から1ナノメートル以下に置き， 1ボルト程度の電圧をかけて表面に沿って移動させると， 表面からの距離に応じてトンネル効果で電子が針に流れこみ， 表面の凹凸を原子の大きさまで調べることができる。 試料中の元素分析などにも用いられる。